amcoss GmbH – Smarte Lösungen für die Mikrochipfertigung
Description: facilitating innovation
Die amc-Serie bietet kompakte, individuell konfigurierbare, vollautomatische Einzelwafer-Bearbeitungsanlagen für unzählige Prozessmöglichkeiten und unterschiedlichste Ansprüche an Durchsatz bzw. Flexibilität.
Die halbautomatischen Single Wafer Bearbeitungsanlagen aus der modularen amr-Serie sowie die beiden Modelle unserer amt Hotplate (Tischgerät) sind auf die Bedürfnisse in der hochflexiblen Einzel- und Kleinserienfertigung von Wafern zwischen 2” und 300 mm optimiert.
Die amv 200 Batchanlage steigert die Effizienz der HMDS-Prozessierung von Substraten, denn eine große Stückzahl wird gleichzeitig bearbeitet und die Prozesszeit ist deutlich kürzer als bei HMDS-Öfen. Das erhöht den Durchsatz spürbar.
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