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高度直射同轴光源常用于高精度的测量。提高了检测系统中被检测的产品的边缘轮廓对比度，消除了边界效应。
被测物体有时不是平面的，若再需要很好的光照均匀度，则不能用平面光源。弧形光源适用于测量曲面物体。