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东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司成立于2014年,总部位于北京亦庄经济技术开发区,是一家专注于集成电路良率管理的企业。 公司自成立以来坚持以创新引领发展,申报国内外发明专利191项,授权发明专利67项,软件著作权15项,注册商标15项。获得“国家高新技术企业”、“中关村高新技术企业”、“北京市专利试点企业”、“博士后工作站”、被评定为国家级专精特新“小巨人”企业等荣誉。 作为高新技术企业,人才是根本。东方晶源研发人员占比近70%,8%拥有博士学位,53%拥有硕士学位。其中,亦麒麟人才3人。核心成员拥有美国硅谷、日本和欧洲等世界一流半导体科技公司的产品研发和管理经验。

OPC是连接芯片设计和制造的关键技术,应用于光刻掩模版优化及光刻机光源优化,是决定产品良率的重要环节之一。东方晶源八年磨一剑,自主研发出计算光刻产品OPC(专利号CN201511019096.7)。目前,该产品已经在量产产线获得验证和销售,解决了国内芯片制造难题。 东方晶源OPC产品采用先进的全芯片反向光刻技术(ILT),通过深度学习和大数据对光刻制程精确建模,优化工艺窗口,确保良率;同时基于HPO™的整体设计理念具有上下游的可扩展性,无缝连接设计和制造,实现芯片良率的显著提升。

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