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半導體芯片用水主要在于前端晶棒硅切片冷卻用水，基板晶圓片檢測清洗用水，中段晶圓片濺鍍、曝光、電鍍、光刻、腐蝕等工藝清洗，后段檢測封裝清洗。
太陽能光伏產業主要生產集中在多晶硅提純、拉單晶、多晶硅鑄錠、太陽能電池片等，這些生產工藝中主要動力需求包括：超純水，電源，特氣。
光電光學玻璃行業的超純水設備主要是為玻璃清洗時給超聲波提供超純水。