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精確的單/雙脈沖控制,對離子注入后的硅基 IGBT圓片背面進行激光快速退火,實現激活深度,有效修復離子注入破壞的晶格結構。
tLMC31-D 型超快激光高速鉆孔機采用超短脈沖的皮秒激光器,以極高峰值功率,單脈沖或者多脈沖形式,自主開發的激光工藝方式。
替代化學溶劑軟化、高壓水噴砂等傳統去溢料工藝, 利用高功率光纖激光能量,汽化去除塑封體引腳周邊的 飛邊、毛刺、粘膠等溢膠。