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Helium Mass Spectrometer Leak Detector 氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦气氟油加压检漏装置是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置
渗氦型标准漏孔原理是基于菲克定律制作。漏孔是计量器具，漏率量值溯源到国家漏率标准，均具有经国家实验室认证的计量技术机构的校准证书。