Description: スパッタリング装置、真空蒸着機、電子線応用機器、電子顕微鏡用マニュピレータの設計製造販売
真空 (55) 電子顕微鏡 (11) スパッタ (10) 電子ビーム (8) 蒸着 (8) スパッター (2) ドライエッチング (2) ヘリコン波プラズマ発生源 (1) イオントリミング (1)
スパッタ装置・真空蒸着装置などの薄膜作製用装置、電子顕微鏡試料作製用装置などの真空応用機器、電子線描画装置、SEM用疲労試験装置、マニピュレーターなどの電子顕微鏡関連機器の開発・設計・製造・販売のサンユー電子。カタログモデルのカスタマイズから、完全オーダーメイドによる機器・装置の設計・製造など、幅広いニーズに対応できる理科学機器メーカーです。
貴金属や各種金属薄膜の生成、絶縁物や酸化物などの薄膜生成に適したコンパクトなDC/RFスパッタ装置。
コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった抵抗加熱式真空蒸着装置、高融点金属や化合物の蒸着に適した電子ビームタイプ真空蒸着装置。